반도체 식각 장비 전문기업 기가레인(049080)이 인공지능(AI) 기술을 활용해 플라즈마 식각 공정의 최적 조건을 자동으로 도출하는데 성공했다고 밝혔다.

그동안 엔지니어의 경험과 반복 실험에 의존해 온 공정 개발 방식을 데이터 기반으로 고도화하며반도체 공정 엔지니어링 역량을 한단계 끌어올렸다는 평가다.

기가레인은 국가과학기술연구회의 융합연구단 사업 지원을 받아년월부터 군산에서 온사이트형태의 융합연구를 수행하고 있는 한국핵융합에너지연구원 플라즈마장비지능화연구단이 자체 개발한기반 공정 최적화 툴을 활용해 반도체 공정 조건 최적화 가능성을 검증했다.

이를 통해 공정 최적화에 들어가던 웨이퍼와 엔지니어링 리소스를 크게 절감하고고객사의 다양한 요구에 대응하는 속도 역시 단축할 수 있게 됐다.

기가레인은 이번 성과를 시작으로 다른 공정에도적용을 확대해데이터가 쌓일수록 개발 효율이 높아지는 선순환 구조를 만들어갈 계획이다.

관련 URL : https://www.newsprime.co.kr/news/article/?no=738266